擴(kuò)散硅壓力變送器結(jié)構(gòu)
壓力傳感器與二極管溫度傳感器一起封裝在測(cè)量膜盒頂部,再由兩塊密封法蘭夾住膜盒本體構(gòu)成了變送器的測(cè)量部,負(fù)責(zé)把工作現(xiàn)場(chǎng)待測(cè)的壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)。另有電子線路板和液晶顯示表頭及接線端子構(gòu)成顯示部,負(fù)責(zé)把傳感器輸出的電壓信號(hào)通過(guò)放大、二線制信號(hào)處理變換4~20mA后,輸出標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào) 。
擴(kuò)散硅壓力變送器結(jié)構(gòu)圖(圖)
由于傳感器的輸出是非標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào),在實(shí)際應(yīng)用中為了使傳感器具有通用性以及便于信號(hào)的傳送和記錄,就將傳感器與帶有標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸入電路配套使用,使之輸出符合標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)。此時(shí)輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)的傳感器就稱(chēng)為變送器 。
簡(jiǎn)而言之,變送器是從傳感器逐步發(fā)展而來(lái)的。本文研究的擴(kuò)散硅壓力變送器主要由 MEMS 傳感器、測(cè)量膜盒和接口與處理電路(智能電路板)三大部分組成。
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